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用于FEI/Thermo双束系统的EBSD-3D样品台
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荷兰M2N供应的EM Tec系列SEM样品台，包括多种使您更容易和更快地将样品直接装载到SEM中的样品台。样品通过在钳口间夹紧或用螺钉固定来装载。一旦样品被正确固定，样品不会松动漂移，这增加了成像和分析的空间分辨率。采用该系列样品台，也不会出现气体释放或污染问题。所有样品台既可以直接使用，也可以加装适配器与扫描电镜载物台一起使用，几乎可以与任何标准的扫描电镜完美兼容。此外，还供应台式扫描电镜的样品台。
SEM样品台种类繁多，限于篇幅，本文仅介绍其中的用于FEI/Thermo双束SEM-FIB系统的专用EBSD-3D样品台（EBSD-3D sample holder for FEI / Thermo DualBeam SEM-FIB systems）。
EBSD-3D样品台
荷兰M2N供应的EBSD-3D样品台专用于FEI/Thermo双束场发射扫描电镜-聚焦离子束（FE-SEM/FIB）系统，可实现样品的FIB铣削与EBSD数据采集功能。通过在铣削位置与EBSD观测位置之间进行180°重复旋转，可获取样品的三维EBSD图谱数据。该样品台需配合FEI EBS3软件及FEI/Thermo双束系统使用。
EBSD-3D样品台支持样品表面与截面分析：其设计包含54°（短斜面）和36°（长斜面）两种倾角界面，通过M6细牙螺纹固定在样品台中心基座，工作时样品台需预置16°倾角。
图片1：截面分析
图片2：大表面分析
样品需固定在EBSD-3D样品台的短斜面。结合16°预倾角，实际倾角为36°+16°=52°，此时样品截面垂直于FIB束柱。当样品台旋转180°后，铣削表面处于54°+16°=70°理想倾角，适用于EBSD数据采集。
进行大表面分析时，样品需固定在EBSD-3D样品台的长斜面。在16°预倾角配合下，实际倾角为36°+16°=52°，使样品表面垂直于FIB束柱。样品台旋转180°后，铣削表面同样处于54°+16°=70°最佳EBSD采集倾角。
EBSD-3D样品台的采用真空级铝合金材质，是与FEI EBS3
软件用户协同研发的专业配件。
详细订购信息：
具有钢结构工程专业承包二级资质、建筑工程施工总承包贰级资质；公司主营产品包括重钢、轻钢、网架及檩条、彩钢板等钢结构产品；近年来，公司承接了国内外大型结构件、桥梁、车库、标准化厂房等具有较大影响力的一系列项目；产品远销白俄罗斯、赞比亚、印尼等国家，得到了一致好评。
关键词： 用于FEI/Thermo双束系统的EBSD-3D样品台
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