LaB6阴极灯丝，用于SEM和TEM-高亮度、高稳定性、坚固耐用的长寿命LaB6阴极

Kimball LaB6 cathodes for SEM and TEM

荷兰Micro to Nano(简称M2N)供应的Kimball LaB6灯丝是扫描电镜行业专用的高质量六硼化镧阴极。标准型LaB6阴极包括90°顶端角和由取向<100>的单晶制成的15µm微平面，这提供了一个长寿命、高亮度、良好稳定性的电子光源。透射电镜可使用具有60°更锐顶端角和6µm更小平面的特殊版本。

ES-423E LaB6阴极采用纯度高、质量好的LaB6晶体制造。SEM用标准型LaB6顶端的亮度是标准钨灯丝电子光源的10倍，因而具有更佳的分辨率、更清晰的图像和更少的噪声。LaB6阴极的寿命比钨灯丝源长得多，能在更长的时间内提供稳定的电子光源。

LaB6阴极用于以下用途时，可明显改善其结果：

a) 低加速电压和长期做能谱mapping（面扫描）应用的扫描电镜

b) 透射电镜成像与分析

c) 电子探针微分析仪（EPMA或微探针）

d) 电子束曝光系统

LaB6阴极根据LaB6顶端的不同分为三种类型：

1）标准顶端：具有90°锥角和15µm微平面，用于标准SEM和标准TEM

2）长寿命高稳定顶端：90°锥角和20µm微平面，用于微探针和分析型SEM

3）高亮度尖锐顶端：60°锥角和6µm微平面，用于高分辨率TEM

LaB6源需要比标准钨灯丝源更高的真空度，通常需要在电子源处加装离子吸气泵，所需真空度在10-7 mbar量级范围内。

ES-423E LaB6阴极的设计和特点：

ES-423E（长寿命）LaB6阴极是一种高性能、电阻加热的热电子发射电子源。它基于经验证的碳棒加热器结构，具有更好的稳定性、更高的可靠性和更少的LaB6晶体暴露，以减少对韦氏孔径的污染。有加热电流通过LaB6晶体，但没有高温载流接头。LaB6晶体由碳套圈固定。该设计的结果是物理尺寸小，很容易适配大多数韦氏帽。这种独特结构的优点是：

1）适用于SEM、TEM、微探针和电子束光刻系统

2）电阻间接加热高纯LaB6晶体，产生的加热电流较低

3）高热稳定性，消除漂移问题

4）设有减少LaB6晶体暴露的碳套圈，减少了韦氏帽污染

5）低蒸气压：减少蒸发损失

6）高亮度：大约比钨灯丝高10倍（锐利型顶端的那款，甚至要高出20倍）

7）稳定的电子源：由于其结构坚固皮实，标准型LaB6阴极在1550°C下的稳定性优于3%/小时

8）长寿命：在10-7mbar真空和1550°C工作温度下，标准型ES-423E LaB6阴极的寿命预计超过500小时

9）低功函数：2.66ev（相比之下，钨的功函数较高，为4.7ev）

有关ES423E LaB6的更多详细信息和规格，请索取和参阅这些PDF文件：“ES-423E长寿命LaB6阴极规格”和“ES-423E长寿命LaB6阴极用户信息”