美国Tousimis C系列触摸屏全自动临界点干燥仪_晶圆专用CPD

美国Tousimis C系列触摸屏全自动临界点干燥仪

_晶圆专用CPD（清洁室版本）

C系列为立式（落地式）大型临界点干燥仪，可在超净间工作，有3个型号可选：

1）Autosamdri-934，用于不超过4"的晶圆超临界干燥

2）Automegasamdri-936，用于不超过6"的晶圆超临界干燥

3）Automegasamdri-938，用于不超过8"的晶圆超临界干燥

临界点干燥原理
之所以称为临界点干燥（又称超临界干燥），因为它存在状态的连续性，即介质在液态和气态之间无明显的区别，分界面的表面应力降到零。这种现象具有特定的温度和压力，被称为临界点。零表面应力这种条件可用于干燥生物样品或含水材料样品，避免了表面应力对试样的损坏。 
我们在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的生物样品或含水材料样品制备时经常需要进行脱水处理（梯度脱水），但水的临界点为+374℃及3212 psi，很不方便并且容易损坏试样。通常也是非常方便的临界点干燥介质为CO2，它的临界点在+31℃及1072 psi。然而它不容易与水混合，因而必须用第三种介质，通常用乙醇或丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体，即CO2 从液体转为气体时，在临界点无表面应力对样品的破坏。

特点和优点

❖ 专门的初始慢充到工作腔室，理想的流体动力学保护了敏感微型器件

❖ 通过观察窗口实现腔室照明，有助于腔室状态可视化

❖ 触摸屏控制，出厂默认设置的全自动处理程序或者自定义用户程序

❖ 内表面材质耐用于CO_2，超纯乙醇和内酮环境

❖ 外部安装的 Post-Purge-Filter等组件，使维护变得很容易

❖ 独家采用“螺旋涡流”法，产生流体动力交换，无需用于加快置换的机械搅拌装置

❖ 极其高效的集成封闭冷却回路，快速降低腔室温度，缩短处理时间

❖ 工作腔室对液态二氧化碳的颗粒过滤低至0.08µm,颗粒保留率达到99.999%+

❖ 防静电设计，适合洁净室材料制造应用

❖ 独创的腔室填充块可实现腔室内径的改变，最大限度地提高液态二氧化碳利用率、减少工艺时间，并提供多种尺寸晶圆处理能力

❖ 每次可处理多达5个晶圆片。根据不同型号，配置不同的HF兼容晶圆支架：8"、6"、4"、3"、2"和10mm模具支架

❖ 可重复的操作参数，确保结果的“再现性”

❖ 集成温度和压力自动调节的安全操作功能

❖ 内置冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

主要技术规格

➢ 工作腔室尺寸：934型  4.50"I.D.；936型  6.50"I.D.；938型  8.50"I.D.

➢ 压力测量范围：0-2000psi. 

➢ 温度测量范围：-30°C to 60°C 

➢ 控制方式：触摸屏全自动程序控制

常规配置

✓ 柔性高压液态 CO2 供应软管，便于现场安装

✓ 双T型过滤器组件(#8785)预先安装在腔室上的液态二氧化碳高压软管

✓ 所有排气口均包含无静电排气管

✓ 腔室插件包括 :8"变6"，6"变4"，4"变3"，3"变2"，2"变1.25"，根据不同型号配置！允许多种晶圆尺寸的干燥

✓ 配备耐氟样品架，根据不同腔室尺寸分别配置用于干燥8"、6"、4"、3"、2"的晶圆或边长为10mm的方形裸片，每个支架可装载多达五个晶圆片

✓ 备用舱室O形圈，腔室灯和保险丝(3A和8A)

注：美国Tousimis产品已有近50年的历史，在中国客户中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本和洁净室版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途；

非洁净室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪

2）Samdri®-795半自动临界点干燥仪

3）Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪

4）Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪

洁净室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

8）Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点`干燥仪

9）Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（最大样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。其中，经典的SAMDRI®-PVT-3D和屡获殊荣的Autosamdri®-931高级触摸屏全自动CPD等型号尤其令人瞩目。客户可基于不同的应用选择不同的型号。