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美国JC Nabity纳米图形发生系统NPGS_EBL电子束曝光
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美国JC Nabity电子束曝光系统(NPGS纳米图形发生器)

美国JC Nabity电子束曝光系统(NPGS纳米图形发生器)

自上世纪八十年代成立以来,美国JC Nabity Lithography Systems公司一直致力于基于商品SEM、STEM或FIB的电子束光刻装置的研制,其研发的纳米图形发生器系统(Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统,简称NPGS,又称电子束微影系统)技术在全球同类系统中属于翘楚之作,世界各地越来越多的用户包括大学、科研机构及政府实验室在使用NPGS进行EBL研究工作.
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