Q300T T Plus三靶大腔室全自动溅射镀膜仪

Q300T T Plus三靶大腔室全自动溅射镀膜仪

Q300T T Plus用于200 mm直径（8英寸）以下的大样品或多个小样品，是一个大腔室涡轮泵溅射镀膜系统，适合薄膜研究和普通扫描电镜/场发射扫描电镜样品制备应用。它配有三个独立的溅射头，以确保单个大样品或多个小样品的均匀沉积。对于小样品的经济的镀膜，可选择“单靶”模式。Q300T T Plus被设计成溅射一系列氧化和非氧化（贵金属）的金属靶材，标配三块57 mm直径x 0.3 mm厚度的相同的铬（Cr）靶。请注意：不能用Q300T T Plus将每个溅射头配置三种不同的溅射金属去实现三层连续镀膜！

有关连续镀制两层不同材料的膜层，请参阅Q300T D Plus。其它大腔室镀膜仪，请参阅K975X/K975S以及Q300T ES Plus。

仪器特点：

•   极限真空5 x 10^-5mbar或更优

•   电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用；用户界面软件全面更新，使用现代智能手机技术界面

•   全面的文字帮助页面

•   USB接口可轻松进行软件更新，也可将配方文件备份/复制到USB存贮器

•   log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，可导出至Excel或类似软件中分析

•   允许多用户输入和储存镀膜方案，并可根据近期的使用情况来排列每个用户的配方

•   16GB内存，双核ARM处理器，可实现快速响应的显示；带触摸屏按钮的全图形界面，包括近期使用的1000个镀膜日志等功能

•   带内爆防护罩的可拆卸玻璃腔室，可选高腔室

•   多种样品台可选

•   三个相同靶材的大面积溅射头；磁控冷溅射；脉冲清洁用于溅射Al（铝）

•   可选的膜厚监控附件（FTM）

•   大而多色的LED指示灯，实现可视化状态指示；程序完成后具有音频声音提示

推荐应用：

•   理想的大面积溅射镀膜应用

•   晶圆检验

•   选用“单靶”模式，实现经济的镀膜应用

•   可溅射各种易氧化和非易氧化金属，用于薄膜及扫描电镜多样品制备

Q300T T Plus是英国Quorum出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分，全球数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品专供科研用途。

Q Plus系列镀膜仪也有较小腔室的版本，请参阅：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可选的型号。