电子束闸

英国DEBEN电子束束闸

许多扫描电镜都具有内置的束闸，通过使用镜筒扫描线圈来阻断电子束。虽然该方法适用于某些应用，但电子束阻断速度通常较慢，仅为几毫秒量级；如果需要更快的消隐阻断速度，则应安装单独的高速静电场型束闸。

英国Deben出品的PCD型束闸是设计用来为JEOL和Hitachi的FEG场发射、LaB6六硼化镧和钨灯丝扫描电镜提供电子束的消隐（阻断、开关）、脉冲或其他调制能力。该束闸安装在电镜镜筒侧面的PCD端口（与最终孔径光阑相对）上，可在高达30千伏的电镜加速电压下工作，开关时间约为50纳秒。还具有一个集成的法拉第杯和探针电流探测器（PCD），用于指示探针电流。如果需要更精确的束流读数，则可用所提供的BNC连接器连接到可选的探针电流表（见本页末“五档束流表”）。

偏转板机构可置入镜筒的中轴线处，在不需要时也可完全抽出。束闸极板由钴金镀层的磷青铜制成，以确保插入极板时不影响扫描电镜的正常工作。极板的长度和间距已被优选以确保在1kV到30kV的加速电压范围内都能获得高电子束阻断效率。

整套束闸系统包括一个PCD端口适配器，并带有可伸缩的束闸极板组件和集成的脉冲驱动器。含一个远程脉冲驱动输入和一个小型桌面控制器。可选的RS-232接口允许直接从计算机控制的电子显微镜或自动电子束光刻系统控制束闸系统。

Deben电子束束闸可用于阻断SEM电子束（打开和关闭电子束），此功能主要用于电子束曝光刻写系统，也用于EDX、CL或EBIC。

仪器特点：

• 集成的法拉第杯，方便检测束流
• 开关响应快，时间短
• 电动插入式极板
• 5V TTL电平控制输入
• 可选的RS-232远程控制
• 兼容电镜加速电压最高30 kV
• 适配于大部分JEOL及Hitachi电镜

推荐应用：

• 电子束曝光（EBL）
• 阴极发光（CL）
• EBIC成像/电压衬度成像
• EDX
• 扫描电声显微镜

可选的五档束流表：n

• 自动校零
• 25°C时最大误差5pA
• 过载：超过100μA
• 功率：电池4 x AA碱性电池，通常工作10000小时（1.2年）
• 尺寸：130mm（宽）x 70mm（高）x 115mm（深）

注：英国DEBEN PCD型束闸通常与美国NPGS纳米图形发生器、EBIC等设备配套使用。