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美国Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B系列全自动临界点干燥仪_洁净室版
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美国Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B系列全自动临界点干燥仪_洁净室版

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品,凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品,以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆(最大样品尺寸8英寸,一次同时干燥5片)等材料类样品的临界点干燥。利用二氧化碳(CO2)临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品,具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。该系列CPD通过微处理控制器来实现自动处理过程,采用防静电设计,适合洁净室(超净间)材料制造应用;该系列为台式全自动临界点干燥仪,有2个型号可选:1)AUTOSAMDRI-815 Series B,用于1"的晶圆超临界干燥。2)AUTOSAMDRI-815B Series B,用于不超过4"的晶圆超临界干燥
产品型号:
Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B
815_B
815B_B
产品描述

AUTOSAMDRI-815/815B Series B 系列CPD

全自动临界点干燥仪

该系列为台式全自动临界点干燥仪,可在超净间工作,有2个型号可选:

1)AUTOSAMDRI-815 Series B,用于1"的晶圆超临界干燥

2)AUTOSAMDRI-815B Series B,用于不超过4"的晶圆超临界干燥

 

临界点干燥原理
之所以称为临界点干燥(又称超临界干燥),因为它存在状态的连续性,即介质在液态和气态之间无明显的区别,分界面的表面应力降到零。这种现象具有特定的温度和压力,被称为临界点。零表面应力这种条件可用于干燥生物样品或含水材料样品,避免了表面应力对试样的损坏。 
我们在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的生物样品或含水材料样品制备时经常需要进行脱水处理(梯度脱水),但水的临界点为+374℃及3212 psi,很不方便并且容易损坏试样。通常也是非常方便的临界点干燥介质为CO2,它的临界点在+31℃及1072 psi。然而它不容易与水混合,因而必须用第三种介质,通常用乙醇或丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体,即CO2 从液体转为气体时,在临界点无表面应力对样品的破坏。

 

特点和优点 

❖ 通过微处理控制器来实现自动处理过程;防静电设计,适合洁净室材料制造应用

❖ LED指示,使每一个程序模式的操作一目了然 

❖ 通过微计量阀实现精确控制流量,支持可重复的精确流量设置。 

❖ 便捷的顶装式工作腔室,带可视窗口,可观察腔室内部状态 

❖ 配有过滤装置,保护样品和阀门。内部过滤可将过滤后的液态CO2直接输送至工作腔室, 颗粒过滤低至0.08µm,截留率为99.999%以上

❖ 内表面材质耐用于液态CO2、超纯乙醇和丙酮环境 

❖ 自动临界点温度-压力调节,确保系统安全;预设静态压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性

❖ 快速冷却腔室,3分钟内将腔室从室温降低至接近0℃(815B可在FILL和PURGE模式下自动保持温度) 

❖ 对于815B型,标配填充块,可将腔室内径减小到3"、2"或1.25",可减少CO2浪费,使液态CO2的使用效率最大化 

❖ 每次运行可以处理5 x 4",5 x 3", 5 x 2",5 x 1"直径的晶圆或者5 x 10mm方晶(提供可以兼容HF的晶圆/方晶样品架,方便运输和处理晶圆和方晶)

❖ 内置冷凝器,分离废弃乙醇和二氧化碳,消除任何管路冻结或机体静电,整个过程无噪声

 

主要技术指标

➢ 工作腔室直径:1.25"I.D.@815 Series B;4.5"I.D.@815B Series B 

➢ 压力测量范围:0-2000psi. 

➢ 温度测量范围:-30°C to 60°C 

➢ 操控方式:全自动按键操控 

 

常规配置

✓ 柔性编织不锈钢耐高压管,用于输送液态CO2 

✓ 对于815B型,配有3个腔室填充块,可将腔室内径减小到 3"、2"或 1.25" 

✓ 外部液态CO2过滤系统(#8784),可去除水/油以及小颗粒 

✓ 防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气 

✓ 备用样品腔室O形密封圏、腔室照明灯和保险丝

 

注:美国Tousimis产品已有近50年的历史,在中国客户中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本洁净室版本两大类,前者常用于电镜制样,后者多用于超净间内的材料研究用途;

非洁净室版本共有7款CPD:

1)Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪

2)Samdri®-795半自动临界点干燥仪

3)Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪

4)Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪

5)Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪

6)Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪

7)Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪

洁净室版本共有9款CPD:

1)Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers

2)Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

3)Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

4)Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

5)Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

6)Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪

7)Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

8)Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

9)Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪For 8”Wafers

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品,凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品,以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆(最大样品尺寸8英寸,一次同时干燥5片)等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品,是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法;具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。客户可基于不同的应用选择不同的型号。

关键词:
815 Series B
晶圆临界点干燥
大腔室临界点干燥仪
超净间临界点干燥
洁净室临界点干燥仪
CO2临界点干燥仪
二氧化碳临界点干燥
Tousimis CPD
AUTOSAMDRI-815/815B
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