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K550 离子溅射镀膜机
K550X具有旋转样品台,它也可倾斜,非常适合各种样品使用。预选择参数及全自动控制使得精确镀层及重复厚度沉积更为方便。 |
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仪器特点 ·高分辨率精细涂层(金颗粒达2 nm) ·均匀厚度沉积(用于扫描电镜的一般厚度为20nm 或200埃) ·可接膜厚监视器,实时监测镀覆层厚度 ·易操作 ·无需冷却样品台 ·精确的再次涂层 ·适合各种样品 ·膜厚度重复性好 ·容易装载或卸载样品 ·可预设沉积厚度 |
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性能指标 1.仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全钟罩:聚碳酸酯 4.重量:18公斤 5.靶:60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金作为标准靶面) 6.样品台直径为60 mm,靶面距离40mm,具有倾斜装置的旋转台 7.真空范围:ATM-1x10-4 mbar 8.沉积电流范围:0-50mA 9.沉积速率:0-25nm/分 10.溅射时间:0-4 分钟 11.预设置针阀:控制氩 12.电源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump) |
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