独立于电镜真空系统之外、自带涡轮分子泵高真空单元的制样系统，具有低温冷冻、镀膜制样、样品传输以及随后的直接观察之先进功能。
众所周知，含水样品（如生物样品、食品、石油类样品）一般是在脱水干燥处理后再镀导电膜才能放入电镜观察。由于脱水干燥，观察到的图像有干瘪变形、结构失真等缺陷。那么，怎样才能实现对含水状态下（不用脱水干燥）的样品形貌进行直接观察呢？本系统针对该应用而设计，它匹配于包括场发射扫描电镜在内的当前所有种类的扫描电镜，其组件分别可将含水样品在电镜外部进行超低温冷冻、镀膜制样（喷金喷碳）等处理，然后通过特别设计的装置将样品传输到位于电镜内部腔室中的冷台（低温样品台）进行随后的观察，所有操作过程不用卸除电镜真空去打开电镜样品腔室。
本系统低温电镜技术是采用超低温冷冻(物理)方法制备生物样品；与常规电镜技术比较，可使样品既符合电镜分析的要求，又最大程度地维持样品在其生活时的生理状态（含水状态），所显示的超微结构更客观地反映了生物样品的自然生理状态。目前该技术已广泛地应用于细胞和分子水平的科学研究中，为准确分析和解决生命科学的一些问题提供了可靠的依据。只要配备了该系统，您的普通电镜立即改造成了一台能直接观察含水样品（无需脱水干燥）的低温扫描电镜！
系统项目包括
1.样品制备单元:
1.1 冷冻腔室
整体高真空腔室产生过冷液氮使样品急剧冷冻。抽真空时间为30秒。过冷液氮（雪泥）温度在-210oC。它装有与传输装置配套的定位圈以及过压安全减压阀。
1.2 制样腔室
全高真空腔室，轴向安装了涡轮泵抽气单元，并且带有独立动作、自锁、通路阀门、与传递装置配套的空间隔离抽气系统、合适位置的制样装置。涡轮分子抽气单元的‘轴’安装在制样腔室上，采用ISO63 全‘喉’型法兰，确保最大的抽真空效率。泵速为60L/秒。真空度优于1 x 10-5mbar。万一发生真空失灵事件时能关闭系统并安全泄压至大气，以免造成损坏。
制样腔室的冷台装有全冷防污染护罩。冷台具有4种工作状态，以及铜到铜的温度传导方式，冷台的温度维持在-170oC以下。
制样腔室的液氮杜瓦瓶：真空双壁结构，1升的内部容量，在大气压力下维持冷台温度保持不变状态可达60分钟，而不用‘开盖加注’或‘自动灌注’。（大约每天10升）
与制样腔室冷台相结合的升华台，带有温控和定时器。
带有冷冻‘刀片’的微调刀，高度可调，具有推/拉作用以及回程清洁样品的功能。
宏操纵器，带有冷却‘点’，中心位置可调。
标准溅射头：低能量输入；高分辩率。金靶（厚度0.1mm x 直径20mm。）作为标准配置。使用金靶，在20mA，100V直流电（平均值）溅射两分钟情况下，膜厚可达20nm，颗粒尺寸2nm。
样品升温不超过3oC/分钟。溅射针阀的真空控制范围在5x10-1到2x10-1mbar，由电磁阀支持。溅射头可选镀铬溅射头。
采用碳绳/碳线闪蒸技术的镀碳头，带有高真空涡轮分子泵抽真空系统，能给出精细涂层，并允许好几次碳绳蒸发而无需替换碳源。
1.3 涡轮分子泵高真空系统
涡轮分子泵抽气单元的‘轴’安装在制样腔室上，采用ISO63 全‘喉’型法兰，确保最大的抽真空效率。泵速为60L/秒。真空度优于1 x 10-5mbar。万一发生真空失灵事件时能关闭系统并安全泄压至大气，以免造成损坏。
2.控制单元:
溅射镀膜模块
镀碳模块
真空序列模块
涡轮泵控制单元
温度监控单元
膜厚监控器
控制单元带有插入式电子模块和低压（24V直流）控制电路。
带袖珍小键盘的液晶显示器。控制器“黑匣子”处于远离键盘的位置。
溅射镀膜模块：可变沉积速度0-50nm/分钟（金），并且相应地控制电流0-50mA，溅射电压范围80-120伏直流均值，0-4分钟可重设置的沉积定时器。
蒸发镀碳模块：低电压交流20V电源用于碳蒸发，典型的是‘闪’一秒；0-50A的电表和0-20A可变的除气电流控制；使用低电压交流20V电源和0-20A可变电流控制的辐射加热器。真空顺序模块带有电磁阀和自动的涡轮泵前级压力互锁装置。制样腔室在0-1x10-5mbar内采用相应仪表连续真空监测。对系统的所有其它位置，自动选择相应的0-1x10-5mbar真空仪表监测。
涡轮控制单元：真空时序互锁，带有常规（高真空）指示以及故障状态读出。
温度监测单元：用于制样腔室冷台和扫描电镜冷台。设置控制点的范围在+50oC 到 -200oC，带有P.I.D.（比例积分微分）控制参数，并有数字显示，可控制+50oC
到 -200oC输入的冷台加热器，以及0-20分钟可调的定时，可控的全范围为-200oC 到 +400oC，精度优于+/- 1oC。
3.传输单元:
带有整体闸阀的传输装置
样品托
传输腔室：主动抽真空系统，无污染应用。（在传输过程中真空优于1x10-2mBar。）
传递棒：具有绝热顶端，全独立运动，自锁阀门，以及空间隔离抽气装置。
样品托：抛光铜，具有良好的热传导特性和‘维持’性能。当不装在冷台上时，在传输活动过程中升温速度低于10度/分钟。容易应用于做纵向的，横向的，和碎裂物固定。
4.扫描电镜组件:
液氮杜瓦瓶
（标准）编织物传导的冷台(内置)
（可选）气体对流的冷台(内置)
闸阀通路
液氮杜瓦瓶：界面匹配扫描电镜端口，具有促使冷台冷却和防污染护罩的作用。双壁间抽真空，1升的内部容量，在大气压力下维持冷台温度保持不变状态可达60分钟，而不用‘开盖加注’或‘自动灌注’。（大约每天10升）
标配冷台：采用编织物传导冷却方式。这种设计适合现有的扫描电镜样品台，带有绝热装置，能维持样品台进行所有合理的运动，液氮杜瓦瓶支持的铜编织传导冷却，可控的升华和定时。（典型的从室温20度冷却至-160度，大约30分钟。）
可选冷台：采用气体对流传导冷却。这种设计适合现有的扫描电镜样品台，带有绝热装置，能维持样品台进行所有合理的运动，液氮杜瓦瓶支持的铜编织传导冷却，可控的升华和定时。（典型的从室温20度冷却至-160度，大约20分钟。）
扫描电镜独立工作，自锁，通路阀门界面匹配扫描电镜端口，空间隔离抽真空系统与传递装置相配。
注:
三个手动操作的通路阀门独立工作，自锁，以防止误操作。
针阀：用于溅射控制，无损座安装，可预设控制位置，电磁阀支持。
所有其它的操作阀门都是电磁阀，具有按钮控制，全模拟的状态指示。
氩气输入阀。
氮气输入阀。（推荐氮气，但也能用一种普通的气体代替它操作，比如：氩气）
可选：30升压力供气杜瓦瓶用于提供氮气和液氮。在用于编织物传导冷却或气体对流冷却，以及用于气体对流冷却的氮气供应过程中，能自动注满系统杜瓦瓶。
仪器特点
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遥控用户界面
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遥控电子和系统操作
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独立制样腔室
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冷却刀探测装置
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涡轮分子泵高真空装置
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低电压冷溅射头，可重复性高
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碳丝闪蒸头
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带闸阀的活退出传输单元
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用于表面升华的辐射加热头
仪器优点
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电子遥控，冲突干扰低
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独立制样，振动很小
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高分辨率溅射镀膜（可选）
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冷却刀和探测装置产生冷冻破碎
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适合任意类型扫描电镜
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镀碳和镀金能够一起实现
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容易在室温下进行电镜操作
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采用涡轮分子泵超清洁真空系统
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样品能在电镜中遥控升华
技术规格
仪器尺寸 - 450mm W x 350mm D x 175mm H 重量 - 36Kg
国际标准DIN 41494，全空气流动，E.M.C. 标准（电磁兼容性）。
主机配有：
工作腔室 - 直径130mm x 长度250mm，带有真空门阀门。
减水腔室 – 直径125mm x 深度150mm 。
液氮杜瓦瓶 – 直径100mm x 深度150mm, 容量1.0 升
涡轮分子泵 - 60L/秒。
控制单元 - 450mm W x 350mm D x 175mm H.
配有：电子控制器
重量 - 28Kg。
传输单元
配有：
真空门阀门 – 抽真空
扫描电镜冷台 –配套真空门阀门和1升容量的液氮杜瓦瓶。
重量 - 16Kg。
以上系统总重量 - 82Kg。
溅射渡膜 -直径20mm x 厚度0.1mm 靶（标配：金靶）
定时器 - 0-4分钟。
溅射电流 - 0-50mA。
喷碳镀膜 – 沉积速度0-10nm/分钟 碳丝/碳绳(全辐射电加热)
蒸镀电流 - 0-50 安。
蒸发按钮
除气控制 - 0-25 安
冷却刀装置
冷却探测装置
样品传输托座
多用途应用（可选用特殊样品托座）
真空计范围 - 0-1x10-5mBar
高真空状态指示器
涡轮分子泵单元 – 优于1x10-5mBar
制样样品台温度 – 优于-170oC
温度监控 - -200oC 到 +50 oC（可控的全范围 -200oC 到 +400 oC）
定时器 - 0-20 分钟
扫描电镜样品台温度 – 优于 -170oC
温度监控 - -200oC 到 +50 oC （可控的全范围 -200oC 到 +400 oC）
定时器 - 0-20分钟。
观察光源
附件
附件包，带有足够初始操作的耗材。（包含）
用于气路的小口径塑料管以及接头装置
与使用国家相适应的电源线和插头。
可选配置
30升压力供气液氮杜瓦瓶，用于需要自动注满和吹洗的场合。（当使用气体对流冷却时，提供氮气源）
配套的系统工作台及提供特制小车
用在制样单元上的双目显微镜
操作说明书
包括：全部界面和安装程序，所有的手动操作参数和样品制备方法，以及应用参考。
安装培训：现场安装和培训，两个工作日。（额外的）
Services Required
气 源：
氩气源：调节至5 p.s.i. 用于溅射镀膜。
氮气源：调节至5 p.s.i. 用于吹洗清洁。
液氮源：常规使用时15升/天（推荐25升储量的杜瓦瓶）
前级泵：双级旋转真空泵10m3/Hr，带有油雾过滤器和真空软管。（推荐No.10
– 可选）
电 源：单向230伏50Hz，最大8
amp，包括泵。